●產(chǎn)品概述
SIC 涂層石磨基座具有耐高溫、抗氧化、純度高和耐酸堿鹽及有機(jī)試劑等特性,物理化學(xué)性能穩(wěn)定。與高純度石墨相比較,高純石墨在400℃時(shí)開始發(fā)生強(qiáng)烈氧化,即 使溫度不高,長(zhǎng)期應(yīng)用也會(huì)因氧化而掉粉末,會(huì)依附工件和臺(tái)面或污染使用環(huán)境,因此SIC涂層石墨基座作為一種新耗材MOCVD設(shè)備、粉末燒結(jié)等工序上逐 漸代替高純石墨。
● 主要特點(diǎn):
1.高溫抗氧化:抗氧化,溫度高達(dá)1600℃時(shí)抗氧化性能仍然非常好;
2.純度高:高溫氯化條件下化學(xué)氣相沉積方法制得的;
3.耐沖刷:硬度高、表面致密、顆粒細(xì);
4.抗腐蝕性:耐酸、堿、鹽及有機(jī)試劑;
5.SIC表面層為β-碳化硅,屬面心立方。
● 主要參數(shù):
性能 | 單位 | 數(shù)值 |
表觀密度 | g/cm3 | 3.15-3.20 |
莫氏硬度 | - | 9.5 |
晶格常數(shù) | nm | α 0.434 |
熱傳導(dǎo)率 | W/m.K | 80 |
熱膨脹率 | 10-6℃-1 | 4.8×10-6 |
●產(chǎn)品應(yīng)用:
外延生長(zhǎng)用的石墨基座涂層(包括Veeco,AIXTRON,Thomas Swan)。
●聯(lián)系方式:
0534-2129266
*公司網(wǎng)址:www.guojingxincai.com
產(chǎn)業(yè)布局